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n 电子、半导体、电镀、精细化工
——设备系统生产目标:纯水、高纯水 ——应用范围:半导体材料、器件,激光材料、器件,线路板,微电子工业,精化分析,检验分析 ——设备系统生产规模:0.1~200m3/h ——原水水质: 一般应符合工业自来水或[生活饮用水卫生标准] GB5749-85 ——产水水质根据下述分级应用: [电子级水的技术标准] GB11446-1-89
原水首先经过预处理,然后进入后处理系统。后处理含反渗透工艺,对需进一步脱离子的高纯水,反渗透工艺产出的水接续由复床、混床、EDI去离子设备作进一步深度处理,其产出水还用紫外线杀菌,最后送到用水点。 |